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5nm工艺起飞 ASML宣布新的半导体技术

时间:2020-06-02 作者:专家委 点击:506

仪表网 仪表上游】提到荷兰ASML公司,大家都知道他们是全球仅有的EUV光刻机供应商,7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。不过ASML不只是光刻机厉害,今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,适用于5nm及更先进工艺,使得产能大涨600%。
 
  半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连,因此,半导体技术也要随之提成。
 
  据悉,随着制程工艺不断提升,晶圆的制造也越来越复杂,这也会导致晶圆中的错误更多,HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统,内部也有复杂的光电子系统,能够产生、控制多个电子束,然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量,并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量,还要有计算系统处理电子束的数据。
 
  简单来说,ASML研发的这个HMI eScan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统,工艺越先进,检测系统就越重要,它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。
 
  ASML的HMI eScan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束,所以产能提升了600%,可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。
 
  目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试,已经交付给客户进行测试验证,未来ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。
 

(来源:仪表网 )