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仪表网 仪表研发】近日，由江苏省牵头开发的“纳米图形化直写与成像
检测仪器的研发与应用”和“新型高分辨杂化
质谱仪器的研制与应用开发”两项国家重大科学仪器设备顺利通过科技部组织的综合验收。其中，昆山禾信承担的“新型高分辨杂化质谱仪器的研制与应用开发”项目获得专家的一致好评。
昆山禾信牵头承担的“新型高分辨杂化质谱仪器的研制与应用开发”和苏大维格牵头承担的“纳米图形化直写与成像检测仪器的研发与应用”是“十二五”期间江苏省获批的国家重大科学仪器设备开发专项。
“新型高分辨杂化质谱仪器的研制与应用开发”由昆山禾信联合省内外16家单位共同完成，在国内首次实现不同种类质量分析器的联用，完成了3款国际先进的质谱整机研发及工程化，项目成果在全国超过40家单位推广应用，为南北极科学考察等国家重大科学研究提供支撑服务，实现了国产高端质谱仪器出口欧美发达国家的突破。
“纳米图形化直写与成像检测仪器的研发与应用”项目由苏大维格联合上海理工大学、中国科学院上海光学精密机械研究所等6家单位共同完成。该项目解决了微纳结构光场的可调控技术、图形的高速率写入机制、微纳结构与纳米精度多轴光机系统的设计与可靠性等难题；面向无掩模光刻，研制了紫外激光直写光刻的关键技术、软件和装备；实现了从纳米光子晶体结构到微米级任意结构的高效率光刻，与目前其他激光直写技术相比，速度更快、效率更高。
