近日,高功率半导体激光器和微光学的全球供应商――炬光科技发布了高功率半导体激光侧泵模块SP17和SP18。此两款产品可分别实现30kW和5kW的峰值功率输出,同时实现更高的小信号增益倍数Small Signal Gain (SSG)(SSG: SP17>55,SP18>30)和更好的荧光分布均匀性(>90%)。可用于高功率固体激光泵浦,最终应用于材料精密加工、表面处理、泛半导体制程等先进制造领域。
炬光科技高功率半导体激光侧泵模块SP17
炬光科技高功率半导体激光侧泵模块SP18
半导体激光泵浦固体激光器(DPSSL)具有高功率、高光束质量输出、较小热效应、高效率、器件结构紧凑等优点,已逐步取代传统的灯泵激光器和气体激光器,广泛应用于多个先进制造领域。半导体激光侧泵模块作为固体激光器的核心泵浦源,直接决定着固体激光器的性能和可靠性表现。
此次发布的SP17和SP18高功率半导体激光侧泵模块采用炬光科技的高功率半导体激光器作为核心元器件,使用五相泵浦结构,利用光学设计和水路设计,以及有效手段控制ASE(Amplified Spontaneous Emission)效应,实现高泵浦峰值功率、高增益和高荧光分布均匀性。随着增益的提高,如不采取相应措施,高峰值功率泵浦模块会产生严重的ASE效应,导致增益饱和,无法得到高SSG。SP17和SP18侧泵模块采取有效措施抑制ASE效应,使得SP18的SSG可达30以上,SP17的SSG更是高达55以上。
五相泵浦结构示意图
产品特点
1. 高峰值功率及小信号增益倍数(SSG)
SP18峰值功率为5kW,SSG>30;SP17峰值功率为30kW,SSG>55。高功率和高增益的SP17和SP18可为高能量固体激光器提供可靠的泵浦模块。
2. 更好的荧光分布均匀性
荧光分布均匀性是半导体激光侧泵模块非常重要的指标要求之一。SP17和SP18采用了炬光科技独特的光场匀化技术,可实现90%以上的荧光分布均匀性,从而抑制侧泵模块的热效应,可为DPSSL提供更高的光束质量。
产品性能参数
SP17技术指标
SP18技术指标