近日,中国科学院沈阳自动化研究所科研团队针对多层复合玻璃厚度测量,提出了一种基于正交色散的大量程高精度谱域光学低相干测量方法。该研究成果于近期在线发表于国际仪器测量领域期刊IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT(中国科学院2区TOP期刊,影响因子5.6)。
多层复合玻璃测量
多层复合玻璃用途广泛,普遍采用“有机玻璃-透明聚碳酸酯-有机玻璃”的异质多层复合式结构,其性能取决于加工过程中对多层复合玻璃中间耦合层(透明聚碳酸酯)的厚度的控制。然而现有测量方法大多只能测量多层复合玻璃的外层廓形及粗糙度,难以测量中间层的厚度、廓形以及结合面平整度,导致多层复合玻璃性能与理论设计无法闭环,制约了其性能的精确评价与调控。
为了解决上述问题,沈阳自动化所研究团队提出了一种基于正交色散的大量程高精度谱域光学低相干测量方法。科研人员通过使用虚像相控阵列和光栅搭建的正交色散系统,将干涉光信号转变为面色散光信号;利用光谱相机采集面色散光信号,并通过信号解调技术对面色散光信号进行解调,从而得到玻璃厚度。科研团队利用该方法开展了测量试验。结果表明,该方法可测量最大厚度为41mm的多层复合玻璃,最大测量速度440点/秒,最优测量精度0.005mm。
该研究成果得到了国家重点研发计划、博士后面上科学基金、辽宁省中央引导地方科技发展专项等项目的支持。(工艺装备与智能机器人研究室)