10月23日，2023年度上海市科学技术奖励大会在上海展览中心隆重召开。根据《上海市科学技术奖励规定》(沪府令8号)，通过市科学技术奖评审委员会评审，市科学技术奖励委员会审定，经上海市人民政府批准，2023年度上海市科学技术奖授奖214项(人)。上海微系统所共获3个奖项，2项技术发明一等奖，1项科技进步二等奖，分别为：由李昕欣，许鹏程，于海涛，陈滢，李明，贾浩，王雪凤团队完成的“变温谐振微悬臂梁的材料原位测量分析方法与科学仪器技术”项目荣获“上海市技术发明一等奖”；由曹俊诚，谭智勇，黎华，万文坚，王长，符张龙，韩英军，邵棣祥，李子平，张真真团队完成的“高性能太赫兹量子级联激光器及仪器关键技术”项目荣获“上海市技术发明一等奖”；由陈方团队与上海航天控制技术研究所等合作单位团队共同完成的“高性能MEMS陀螺及其系统应用技术”项目荣获“上海市科技进步二等奖”。
获奖简介
“变温谐振微悬臂梁的材料原位测量分析方法与科学仪器技术”
荣获“上海市技术发明一等奖”
李昕欣，许鹏程，于海涛，陈 滢，李 明，贾 浩，王雪凤
李昕欣研究员团队针对材料理化特性表征用吸附分析/
热分析仪器缺乏高灵敏原位测量技术的共性问题，发明变温谐振悬臂梁MEMS集成芯片和超灵敏原位测量技术，创新研发出国际首款界面热力学动力学整套参数
测量仪(ITKP)、首款可原位显微联用的微悬臂梁热重分析仪(TGA)和首款原位测量的程序升温脱附分析仪(in-situ TPD)等一系列成果鉴定为水平国际领先的科学仪器。使该类仪器实现了全新分析功能和测量精度的数量级提升，并在脱附活化能测量上显著改进了现有仪器长期沿用的教科书经典方法，在仪器芯片化换代提升的同时取得重要科学进步。成果转化创建的厦门海恩迈科技有限公司已实现系列仪器产品销售和推广应用，并将国产高端仪器反向出售给发达国家著名科学机构。
“高性能太赫兹量子级联激光器及仪器关键技术”
荣获“上海市技术发明一等奖”
曹俊诚，谭智勇，黎 华，万文坚，王 长，符张龙，韩英军，邵棣祥，李子平，张真真
曹俊诚研究员团队针对太赫兹频段缺乏高品质激光源和国产仪器的痛点，从结构、材料、器件到模块和仪器，全自主发展高性能太赫兹器件及成像仪器；研制大功率、低发散角太赫兹激光源，研发高速太赫兹宽谱探测技术，大幅提升成像速度；研制高性能实时成像仪，应用于多种危险品分析与识别；研制近场显微成像仪，将太赫兹辐射与物质相互作用深入到亚微米尺度。研制的模块化太赫兹器件成功应用于中国空间站望远镜(CSST)太赫兹混频探测本振源、我国首台自由电子激光大科学装置的太赫兹辐射检测等。
“高性能MEMS陀螺及其系统应用技术”项目荣获“上海市科技进步二等奖”。
陈方副研究员(第三完成人)与上海航天控制技术研究所等合作单位团队共同完成
陈方副研究员团队与上海航天技术研究所产学研用相结合，聚焦限制高性能MEMS陀螺和系统研制与应用的核心瓶颈技术，以MEMS陀螺芯片、电路控制、系统应用为任务主线，历经多年攻关，突破了一系列关键技术，大幅提升了国产MEMS陀螺及其惯性测量系统的技术水平。基于国产高性能四质量块MEMS陀螺仪裸片，研制了高性能MEMS陀螺及一系列惯性测量系统，产品性能达到了导航级。
