超声波气体流量计分析仪器的使用

 超声波气体流量计分析仪器采样气体测量气体色谱仪和环境保护等分析仪器的采样量或大气采集量配套用流量计, 应用非常普遍。机械构体密封测试和尺寸精密测量例如测量阀门等机械构件气密性指标中气wojie.net体泄漏量; 测量小孔尺寸和过滤材料透气性测试等。化工、石油等流程工业微型试验装置中微小气体流量的测量和控制。半导体制备业曾是热式流量仪表主要服务对象。应用于扩散、氧化、等离子刻蚀、溅射等工艺设备, 测量和控制洁净或腐蚀气体。1995年世界范围内半导体业购置3 000余万美元热式流量仪表, 约占热式流量仪表市场的1/3。